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J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS 8�3�, 031303 �Jul–Sep 2009� Radiation sensitivity of microelectromechanical system devices

机译：J.微/纳米石。 mEms mOEms8�3�，031303�Jul-sep2009�微机电系统器件的辐射灵敏度

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Herbert R. Shea;
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年度 2010
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